天瑞膜厚测试仪技术参数
时间：2024-08-15 阅读：7
天瑞膜厚测试仪技术参数：
仪器尺寸：
外观尺寸： 576(W)×495(D)×545(H) mm
样品室尺寸：500(W)×350(D)×140(H) mm ，
特殊测试时，可开盖，对样品长度无限制
检测开槽口时，厚度10mm以上，宽度和深度没有限制。
样品台尺寸：230(W)×210(D)mm
移动范围：50(X)mm， 50(Y)mm
Z轴升降平台升降范围：0-140mm
2、仪器重量：90kg
3、SDD半导体探测器：
探测器输入电压：±12V，+5V
探头窗口面积：25mm-2---
探头窗口厚度：0.5mil
分辨率：140±5eV