原子发射光谱法是利用物质在热激发或电激发下，每种元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，而进行元素的定性与定量分析的。原子发射光谱法可对约70种元素(金属元素及磷、硅、砷、碳、硼等非金属元素)进行分析。在一般情况下，用于1%以下含量的组份测定，检出限可达ppm，精密度为±10%左右，线性范围约2个数量级。这种方法可有效地用于测量高、中、低含量的元素。
原子发射光谱仪的组成
一、激发光源
1、激发光源的作用
作为光谱分析的光源对试样都具有两个作用:
(1)把试样中的组分蒸发、解离为气态原子。
(2)使气态原子激发(即光源的主要作用是对试样的蒸发、解离和激发提供所需的能量)。
2、激发光源的要求
激发能力强、灵敏度高、稳定性好、结构简单、操作方便、使用安全
3、常用的光源:直流电弧、低压交流电弧、高压火花和电感耦合等离子体(ICP)等。
4、光源的选择
(1)、分析元素的性质
元素的挥发性，以及它们的电离电位直接影响该元素的蒸发和激发。
(2)、分析元素的含量
对低含量元素，需要较高的灵敏度，它不仅与激发温度有关，而且与蒸发温度有关。
(3)试样的性质
(4)、分析任务
5、样品导入光源的方法:固体自电极法、粉末法、溶液法、气态法
二、色散仪
作用:将光源发射的不同波长的光色散成为光谱或单色光。
分类:按色散器件的不同可分为棱镜色散仪和光栅色散仪。
构造:照明系统、准光系统、色散系统。
三、检测器
在原子发射光谱法中，常用的检测方法有:目视法、摄谱法和光电法。
这三种方法基本原理都相同，都是把激发试样获得的复合光通过入射狭缝照射到分光元件上，使之色散为光谱。然后通过测量谱线而检测试样中的分析元素，其区别就在于目视法用人眼去接受，摄谱法用感光板接受，光电法用光电倍增管接受。目前，广泛使用的是摄谱法。