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近年来，在环境下研究纳米尺度下的物理学与材料学已成为学术研究的热点。在极低温、强磁场下，依据原子力、磁力等可从物质结构、物理特性、温度、磁场、电学、光学、微波等多个物理维度实现对样品性能的表征。它的应用非常广泛，例如研究超导材料、二维材料、拓扑绝缘体等。

XD103系列压电纳米定位台是专为极低温、强磁场环境而研发设计，采用低温压电驱动，外壳采用轻型材料。XD103为XY二维扫描运动，它的体积小巧，尺寸仅33×33×15mm，中心具有10×10mm通孔。所有组件均采用低温强磁兼容版本，以保证其在低温强磁下的性能。

特点

• 耐低温可达 4K

• 耐强磁

• 4K温度下位移达10μm@150V

• 分辨率可达0.5nm

• 开环驱动，快速响应

• 耐真空度达10^-4mbar

• 耐磁场达3T

室温电压与位移曲线

技术参数

型号：XD103

运动方向：X、Y

常温标称行程：100μm@60V

4K温度下行程：10μm@150V

常温分辨率：1nm

4K温度下分辨率：0.5nm

空载谐振频率：>350Hz

带载150g谐频：>120Hz

常温静电容量：5.4μF/轴

4K温度下静电容量：0.75μF/轴

材料：钛合金、铝

承载：≤150g