多腔体电子束蒸镀系统|德仪天力科技
来源：工业之家2026/9/30 15:56:3212
导读:
DE3000ER 多腔体电子束蒸镀系统
1、多个工艺模块：
- 超高真空蒸镀
- 样品分析
- 样品预清洗
- 样品除气
- 样品氧化
- LOAD LOCK
2、PLC+PC全自动控制样品传输和全部工艺流程
3、主要用途：
- 约瑟夫森结制备
- 超导材料薄膜制备
- 量子器件制备
- 低维材料制备
- LIFT-OFF工艺蒸镀
北京德仪天力科技发展有限公司成立于2001年，是集薄膜沉积设备研发与制造于一体的创新技术企业。公司核心产品涵盖磁控溅射、电子束蒸镀及热阻蒸发等多种薄膜沉积设备，广泛应用于半导体、微电子、纳米技术、超导、量子科技、数据存储及生物薄膜等前沿领域。依托超高真空环境与高精度工艺等核心技术优势，我们为高校、科研院所及企业客户提供从研发到规模化生产的全流程薄膜沉积解决方案，精准满足多领域、多层次的科研与产业化需求。作为业界优秀的真空薄膜沉积设备供应商，德仪科技自成立以来一直贯彻“高级配置、高档指标、高超性能、优质服务"的产品发展理念，以更优质的产品和更专业的服务，持续助力薄膜技术的创新与产业进步。未来，我们将秉持初心，不断专研行业前沿科学技术，全力开发满足各领域需求的高质量真空薄膜沉积设备产品。
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