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热阻蒸发薄膜沉积系统|德仪天力科技

来源:工业之家2026/9/30 15:58:0216
导读:
  DE400DL 热阻蒸发薄膜沉积系统
  1、系统核心配置
  - 蒸镀环境:高真空或超高真空
  - 控制系统:PLC+PC 全自动控制
  - 样品传输:LOAD LOCK 自动样品传输
  - 可选配置:离子束清洗或辅助沉积、手套箱
  2、核心性能优势
  - 薄膜质量:优质薄膜,具备出色的膜厚均匀性和重复性
  - 控制精度:高精度镀膜速率和膜厚控制
  3、适用材料与工艺
  - 可沉积材料:金属、半导体、介质材料、有机材料
  - 薄膜类型:单层薄膜、多层薄膜,可安排共蒸合金膜
  - 特殊工艺:LIFT-OFF 工艺蒸镀
  - 样品台:多种标准样品台,可客制样品台以制备特殊工艺薄膜
  4、应用场景
  - 研发、中试

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